應用領域
SIC半導體
用于半導體行業的特種石墨
我們的材料適用于多種類型的晶體生長爐。也提供用于硅外延和MOCVD的基座。我們通過機械加工等工藝對石墨部件進行表面處理，以滿足特定應用的需求。全面的質量控制確保我們的客戶獲得高質量，可追溯的產品。
晶體生長
晶體生長對于半導體生產過程中使用的石墨部件，高純度是其關鍵要求。雜質含量應保持在百萬分之五之下。在真空環境下，真空室內有主石墨加熱器，主石墨電極，石墨坩堝，石墨隔熱碳等。
● 加熱器
● 坩堝
● 石墨保溫筒
● 石墨電極
適用于外延生長工藝和材料
在制成電子器件需要經過幾個步驟。其中重要的工藝是硅外延。基座的性能和質量是對晶片外延層的質量起著至關重要的作用。
我們所有的基座是有高強的等靜壓石墨制品。全面的質量控制確保我們的客戶始終獲得高質量完全可追溯的產品。我們不斷創新。突破技術壁壘，不斷優化制定真正價值的切實解決方案。
● 精度±0.003
● 純度1PPM以下
● 碳化硅圖層
制造半導體器件
石墨還可以用于制造半導體器件，如二極管、晶體管和集成電路等。石墨具有高導電性和高導熱性，可以作為半導體器件的基板材料。此外，石墨還可以用于制造電極和散熱器等部件。
